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- タイトル
- 低温ポリシリコン薄膜トランジスタの開発－システムオンパネルをめざして－
- 作成者 – 役職なし
- Shinji NOZAKI
- 出版者
- シーエムシー出版
- ID
- 991002577302807421
- 組織
- The University of Electro-Communications
- 言語
- 日本語
- 資料タイプ
- 図書
- リソースのサブタイプ
- rm_books_etc: Others
図書
低温ポリシリコン薄膜トランジスタの開発－システムオンパネルをめざして－: 第3章 SiOナノ粉末の真空蒸着による高品位シリコン酸化膜の低温形成
シーエムシー出版
02/2007