メトリック
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- タイトル
- デジタル処理 DC スパッタによる光学機能性酸化物の原子層精度堆積
- 作成者 – 役職なし
- Hideo ISSHIKI
- 会議
- 電子情報通信学会、第3回光集積及びシリコンフォトニクス(PICS)研究会 (14/07/2022–15/07/2022)
- ID
- 991002554715307421
- 組織
- The University of Electro-Communications
- 言語
- 日本語
- 資料タイプ
- 会議発表プレゼンテーション
- リソースのサブタイプ
- rm_presentations: Invited Oral Presentation