メトリック
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- タイトル
- デジタル処理DCスパッタによる機能性酸化物の原子層精度堆積とフォトニクス応用
- 作成者 – 役職なし
- Hideo ISSHIKI
- 会議
- 日本表面真空学会、スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第171回定例研究会 (01/08/2022–01/08/2022)
- ID
- 991002554715407421
- 組織
- The University of Electro-Communications
- 言語
- 日本語
- 資料タイプ
- 会議発表プレゼンテーション
- リソースのサブタイプ
- rm_presentations: Invited Oral Presentation