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MOVPE法による高Al組成AlGaN膜のモフォロジー及び結晶性へのVIII比の影響
会議発表プレゼンテーション

MOVPE法による高Al組成AlGaN膜のモフォロジー及び結晶性へのVIII比の影響

応用物理学会
第64回応用物理学春季学術講演会 (横浜)
16/03/2017

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