メトリック
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- タイトル
- Room temperature synthesis of ferroelectric Hf1-xZrxO2 films under layer-by-layer approach using digitally processed DC sputtering
- 作成者 – 役職なし
- Hideo ISSHIKI
- 会議
- The 17th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes(ISSP2024) (02/07/2024–05/07/2024)
- ID
- 991002554849707421
- 組織
- The University of Electro-Communications
- 言語
- 英語
- 資料タイプ
- 会議発表プレゼンテーション
- リソースのサブタイプ
- rm_presentations: Oral Presentation