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- タイトル
- TEGaと酸素ガスを用いた大気圧MOVPEによるβ-Ga2O3薄膜の結晶成長
- 作成者 – 役職なし
- Kazuo UCHIDA
- 会議
- 第83回応用物理学会 秋季学術講演会
- ID
- 991002555842507421
- 組織
- The University of Electro-Communications
- 言語
- 日本語
- 資料タイプ
- 会議発表プレゼンテーション
- リソースのサブタイプ
- rm_presentations: Oral Presentation
会議発表プレゼンテーション
TEGaと酸素ガスを用いた大気圧MOVPEによるβ-Ga2O3薄膜の結晶成長
第83回応用物理学会 秋季学術講演会
23/09/2022