Effects of substrate-bias on the structure of sputter-deposited Co-Pt film

Hashimoto MITURU

doi:10.1016/S0257-8972(01)01585-7

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Effects of substrate-bias on the structure of sputter-deposited Co-Pt film

ジャーナル論文 - rm_published_papers: Scientific Journal

査読済み

Effects of substrate-bias on the structure of sputter-deposited Co-Pt film

Hashimoto MITURU

SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, Vol.151, ページ55-58

03/2002

DOI: https://doi.org/10.1016/S0257-8972(01)01585-7

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タイトル: Effects of substrate-bias on the structure of sputter-deposited Co-Pt film
作成者 – 役職なし: Hashimoto MITURU
出版物に関する詳細: SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, Vol.151, ページ55-58
ID: 991002546603707421
組織: The University of Electro-Communications
言語: 英語
資料タイプ: ジャーナル論文
リソースのサブタイプ: rm_published_papers: Scientific Journal