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ジャーナル論文 - rm_published_papers: Scientific Journal
査読済み
Highly Precise Multi-Cathode Pulsed-DC Sputtering Employing Digital Processing -Application to Layer-by-Layer Synthesis of Cubic (Er0.1Y0.9)2Zr2O7 Thin Film-
Hideo ISSHIKI
Japanese Journal of Applied Physics, Vol.61(SA1001), ページ1-6
15/12/2021
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タイトル
Highly Precise Multi-Cathode Pulsed-DC Sputtering Employing Digital Processing -Application to Layer-by-Layer Synthesis of Cubic (Er0.1Y0.9)2Zr2O7 Thin Film-
作成者 – 役職なし
Hideo ISSHIKI
出版物に関する詳細
Japanese Journal of Applied Physics, Vol.61(SA1001), ページ1-6
出版者
The Japan Society of Applied Physics
ID
991002547433807421
組織
The University of Electro-Communications
言語
英語
資料タイプ
ジャーナル論文
リソースのサブタイプ
rm_published_papers: Scientific Journal
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