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Self organized Micro Cones on Si substrate by Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition
ジャーナル論文 - rm_published_papers: International Conference Proceedings   査読済み

Self organized Micro Cones on Si substrate by Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition

Extended abstracts of the 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials, P-8-17), ページpp.560-561
09/2007

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