The Role of Reactive Gas Pulsing Synchronized with Digitally Processed DC Sputtering

ジャーナル論文 - rm_published_papers: Scientific Journal

査読済み

Vacuum and Surface Science, Vol.66(8), ページ484-489

10/08/2023

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タイトル: The Role of Reactive Gas Pulsing Synchronized with Digitally Processed DC Sputtering
作成者 – 役職なし: Hideo ISSHIKI
出版物に関する詳細: Vacuum and Surface Science, Vol.66(8), ページ484-489
出版者: Surface Science Society Japan
ID: 991002547326507421
組織: The University of Electro-Communications
言語: 日本語
資料タイプ: ジャーナル論文
リソースのサブタイプ: rm_published_papers: Scientific Journal